UV臭氧清洗和濕式清洗的結合
二次污染的注意
?玻璃表面的有機性污染膜厚度在單分子層以下時是非常清潔的表面狀態。即便是在實驗室或這是無菌室里的大氣中也會有微量的揮發性有機化合物或者硫化合物，將洗凈玻璃放置于這種環境下也會被這些蒸汽污染。高度清洗過后的表面接觸角會在30分到1小時內恢復到20度。因此我們認為超高清潔玻璃不易長時間保存。
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可以將粒子極限清洗的清洗工藝
UV臭氧清洗和濕式清洗的結合
UV臭氧清洗是使有機性污染膜清洗到單分子層以下的高清洗技術，如下圖所示在完成清洗階段使用UV臭氧清洗技術。但是UV臭氧清洗對于粒子沒有效果。同時濕式清洗不能完全清除有機性污染，會保留幾個分子層厚度的油膜。被這些油墨所吸收的粒子在沖洗過程中很難被全部清洗掉。UV臭氧清洗是完成階段的清洗，在生產過程中我們發現了如下圖所示UV臭氧清洗后使用例如溫水沖洗的清洗工藝。UV臭氧清洗如圖所示油膜基本上都可以清除。在此之后使用純水沖洗可以將沒有油膜保護的粒子很容易的沖洗掉，得到沒有粒子，沒有有機污染物的高清潔面。
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這種技術方法不但在液晶顯示裝置的現場使用，在原版曝光和分光板的制造工程中也被大量使用。
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